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【英文标准名称】:Refrigeratingsystemsandheatpumps-Flexiblepipeelements,vibrationisolatorsandexpansionjoints-Requirements,designandinstallation.
【原文标准名称】:制冷系统和热泵.软管元件、防振器和膨胀接头.要求、设计和安装
【标准号】:NFE35-405-2000
【标准状态】:作废
【国别】:法国
【发布日期】:2000-03-01
【实施或试行日期】:2000-03-20
【发布单位】:法国标准化协会(FR-AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:连接;不渗透性;制冷装置;安全要求;设计;管;工作场所安全;规范(验收);补偿器;柔性管;职业安全;管道;污染控制;管系统;柔性;制冷循环;振动吸收器;制冷;定义;安装;制冷剂;事故预防;臭氧;安全工程;密封性;材料;作标记;热泵;金属软管;挠性管
【英文主题词】:Accidentprevention;Compensators;Connections;Definition;Definitions;Design;Flexible;Flexiblepipes;Flexibletubing;Heatpumps;Impermeability;Marking;Materials;Metalhoses;Mounting;Occupationalsafety;Ozone;Pipelines;Pipes;Pipingsystem;Pollutioncontrol;Refrigerantcircuits;Refrigerants;Refrigeratingplant;Refrigeratingplants;Refrigeration;Safetyengineering;Safetyrequirements;Specification(approval);Tightness;Vibrationabsorber;Workplacesafety
【摘要】:
【中国标准分类号】:J73
【国际标准分类号】:27_080;27_200
【页数】:17P;A4
【正文语种】:其他

标准名称：	硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法
英文名称：	Practice for shallow etch pit detection on silicon
中标分类：	冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属与半导体材料综合
ICS分类：	电气工程 >> 半导体材料
发布部门：	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期：	2011-01-10
实施日期：	2011-10-01
首发日期：	2011-01-10
作废日期：
主管部门：	全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
归口单位：	全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位：	洛阳单晶硅有限责任公司
起草人：	田素霞、张静雯、王文卫、周涛
出版社：	中国标准出版社
出版日期：	2011-10-01
页数：	8页
书号：	155066·1-42668

本标准规定了用热氧化和化学择优腐蚀技术检验抛光片或外延片表面因沾污造成的浅腐蚀坑的检测方法。
本标准适用于检测<111>或<100>晶向的p型或n型抛光片或外延片,电阻率大于0.001Ω·cm。

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GB/T14264 半导体材料术语